Zur UV-Oxidation werden kompakte Reaktoren eingesetzt, die in der Regel aus einem Edelstahlrohr mit eingesetztem Quarzrohr bestehen. Im Quarzrohr befindet sich die UV-Lampe mit einer üblichen Leistung zwischen 1 - 10 kW. Zum Einsatz kommen Hochdruck- und Niederdruckquecksilberlampen. Bei der Bestrahlung eines sauerstoffhaltigen, feuchten Gasgemisches mit UV-Licht wird im Niederdruckstrahler Ozon gebildet und es entstehen sehr reaktive OH-Radikale. Diese besitzen ein sehr hohes Oxidationspotenzial und sind daher in der Lage, die Schadstoffe anzugreifen. Doppelbindungen brechen bevorzugt auf. Zusätzlich ist ein Teil der UV-Strahlung energiereich genug, um beispielsweise bei chlorierten Kohlenwasserstoffen die Kohlenstoff-Chlor-Bindung zu spalten. Im Verlauf der Reaktionen bilden sich wiederum OH-Radikale, die den Abbau in Gang halten. Durch die relativ kurze Verweilzeit der Schadstoffe im Reaktor kommt es in der technischen Anwendung jedoch nicht zu einem vollständigen Abbau. Als Endprodukte der UV-Oxidation von Chlorkohlenwasserstoffen entstehen Kohlendioxid, Wasser und HCl. Letzteres wird im Waschturm, der mit Natronlauge alkalisiertes Wasser enthält, ausgewaschen und zu Kochsalz neutralisiert